اجزای اصلی میکروسکوپ الکترونی:

1- مجموع مولد الکترون

- رشته ( فیلامان)        

- حفاظ             

  - آند  

2- ستون مسیر الکترون ها

          - مولد الکترون

          - عدسی های الکترومغناطیسی

          - آند 

          - سیم پیچ هاز روبش پرتو

          - محفظه نمونه ها

3- محفظه نمونه

4- آشکار ساز